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RTP快速退火爐

發布時間:2017-11-15  瀏覽次數:1543

產品型號:RTP快速退火爐NBD-HR1200-110IT-170
商品簡述NBD HR系列高溫快速熱處理退火爐簡稱RTP。 

商品主要用于: 
1.可滿足離子注入后的快速退火; 
2.也可用于歐姆接觸快速合金; 
3.還可用于硅化物合金退火,氧化物生長; 
4.以及銅銦鎵硒光伏應用中的硒沉積等快速熱處理工藝場合。 
該設備是國家專利保護產品,專利號:CN201310005931.6
     快速熱處理退火爐簡稱 RTP(Rapid Thermal Processing Furnace),在原有生產制造工藝的基礎上不斷改進,現已自主研發了該款產品,并擁有發明專利。不但擁有非常快的升溫速率500℃/S,而且在燒結工藝運行完結,直接將試樣在高溫區取出。退火爐實現物理狀態下的快速降溫。我們的工程師們巧妙地利用了冷壁工藝,退火爐在綠色節能環保的基礎上實現了試樣的快速升降溫!
     設備采用了內管進氣、外管出氣的氣路結構,使得反應氣氛與加工樣品充分而均勻地接觸。退火爐是CVD法生長大尺寸二維石墨烯的常用設備。測溫元件直接和試樣接觸,保證試樣溫度的準確性。


RTP快速退火爐主要技術參數

型  號

最高溫度

最快升溫速率(℃/S)

管徑(內)(mm)

處理晶片尺寸(in)

恒溫區 (mm)

外形尺寸

功率(AC380V)

 

 

 

 

 

 

 

NBD-HR1200-110IT-170

1100℃

500

103

0~3.5

120

800

540

750


15kw


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